电磁显微镜的像差与消除到底是一回怎样的事,关于电磁显微镜中的像差类似于光镜中的像差,电镜的像差也可以分成几类,只是所采用的相应消除措施与光镜各不相同。其产生原理一样,故描述当中常常沿用“光线”一词来喻作电子线束。具体的介绍分为下面几个步骤来说:
(1)球差 由于成像的远轴光线与近轴光线的光路不同, 致使远轴光线与近轴光线在光程上产生了差异,造成所形成影像的焦点位置出现了前后不同,这一原因所引起的像差称为球面像差,又称球差。当入射光与光轴发生倾斜时也会加大透镜的球差。所以电磁透镜和光学透镜一样也常常加有透镜光阑,选用较小的孔径角,用以遮挡远轴光线,着重利用近轴光线成像,从而降 低球差带来的影响。此外加装电子枪和电子束的倾斜校正线圈;也可以有助于消除或减少球差.
(2)衍射像差 光线遇到小孔或小障碍物时会产生绕向前进,这种衍射效应所导致的像差称为衍射像差。孔径越小,越接近光线的波长值,衍射像差就越明显。所以光阑孔径太小,虽然有利于消除球差,却使衍射像差增大,故光阑大小恰当值的选取也很重要,要视情况而定,权衡选择.
(3)色差 如果施给自由电子的阳极加速电压值发生了变化(实际上不可能达到绝对地稳定不变),将会引起电子束波长的变化,而同一块透镜对不同波长的电子束产生的折射率是不同的。这种现象如同光学透镜一样,该像差同样被称为色差或色散。所以电镜须要求配以十分稳定的电压与电流恒定装置,尽可能地限制电子束波长的飘移。
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